ICP光譜儀射頻發(fā)生器產(chǎn)生的高頻功率通過感應工作線圈加到三層同心石英炬管上，形成高頻振蕩電磁場；在石英炬管的外層通入氬氣，并進行高壓放電產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在高頻電磁場中往復運動與其他氬原子碰撞，產(chǎn)生更多的帶電粒子，同時溫度升高，終形成氬氣等離子體，等離子體的溫度可達6000K～8000K。待測水溶液試樣通過霧化器形成的氣溶膠進入石英炬管中心通道，在高溫環(huán)境下受到激發(fā)，發(fā)射出溶液中所含元素的特征譜線；通過對等離子體光源進行采光，并利用掃描分光器進行掃描分光，將待測元素的特征譜線光強準確定位于出口狹縫處，利用光電倍增管將該譜線光強轉變成光電流，再經(jīng)電路處理和模數(shù)變換后，進入計算機進行數(shù)據(jù)處理

　　ICP光譜儀，是根據(jù)試樣中被測元素的原子或離子，對各元素進行定性和定量分析的儀器；該儀器具有樣品用量少，應用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點。

　　當然，該儀器也存在不能應用于有機物、對標準試樣要求高、不宜作個別分析的缺點。其主要應用于地質(zhì)普查、找礦；對于鋼鐵、冶金等部門，可進行生產(chǎn)控制分析和快速分析。特別是電感耦合等離子發(fā)射光源（如圖）和多通道光電直讀光譜儀，使原子發(fā)射光譜的應用得到了迅速的發(fā)展。

　　ICP測試的有效波長范圍是120-800nm，其中120-160nm波段尤其適用于分析鹵素或者某些特殊應用的替代普線。通常測試的樣品后必須保持澄清，顆粒、懸濁物有可能堵塞內(nèi)室借口或者通道；溶解液不能含有堆一起有損壞的成分，如HF、強堿等；相對于ICP-MAS，ICP-AES測試的級別為ug/L(ppb)。